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株式会社 日立国際電気

プラズマ発生用高周波電源

半導体製造装置、各種産業用

高周波電源（連続）

高周波電源（連続）
項目 仕様
周波数 HF帯、VHF帯
出力電源 5/10/20/30/40KW
出力方式 連続、パルス

プラズマ発生用高周波電源に関するお問い合わせ

特機事業部　営業部

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TEL(03)6734-9480　FAX(03)3502-2514

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