プラズマ発生用高周波電源

半導体製造装置、産業用加工機向けプラズマ発生用高周波電源です。 各種周波数（ＨＦ〜ＵＨＦ）の高周波電源とマッチングボックスの両方を製作します。
無線通信システム開発で長年培った高周波技術により、高い反射耐力を実現しました。
プラズマインピーダンス分析のサポートにより、マッチングボックスの最適化、マッチング収束速度の向上が可能です。

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