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Hitachi

株式会社 日立国際電気

テレマゲートウェイTG-BT(メルセデス・ベンツ車専用)
TG-01(メルセデス・ベンツ/アウディ車専用)

半導体製造装置、産業用加工機向けプラズマ発生用高周波電源です。 各種周波数(HF〜UHF)の高周波電源とマッチングボックスの両方を製作します。
無線通信システム開発で長年培った高周波技術により、高い反射耐力を実現しました。
プラズマインピーダンス分析のサポートにより、マッチングボックスの最適化、マッチング収束速度の向上が可能です。

高周波電源に関するお問い合わせ

特機事業部 企画管理部

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TEL(03)6734-9481 FAX(03)5209-5937