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Hitachi

株式会社 日立国際電気

薄膜形成プロセス技術「TΛNDUO」

概要

当社では、お客さまの工場をミニマムコストで操業するため、装置のヘルスチェックサポートや、低コストでの部品修理、再生のご提案を積極的に行っています。さらに、これからも継続して長期間、ご使用いただくために、生産中止部品の代替品の提供、高機能化や生産性向上につながるリノベーションアイテムもご提案しています。また、お客さまからのご要望(VOC)をお伺いし、各種機能のレベル向上もご提案しています。
お気軽にお問い合わせください。

サービスのご紹介

1. 装置保守・部品修理/再生

お客さまの工場をミニマムコストで操業するため、装置保守、部品修理、再生の各種提案を行います。お気軽にご相談ください。

(1) 装置保守

  • 搬送系機能診断
  • 部品寿命監視
  • ヒーターケーブル、熱電対ケーブル交換
  • お客さまご購入装置のサービスイン

(2) 部品修理、再生

  • 修理専用ラインおよび熟練スタッフによる修理
  • 新品同等の出荷前検査の実施
  • 修理時に機能アップサービス
  • 部品再生によるコスト削減

修理専用ライン

修理専用ライン

部品再生

部品再生

2. 長期間ご使用された装置へのソリューション提案

半導体製造装置を長期間、使用したいというご要望に対し、装置リノベーション、代替品開発、ヘルスチェックに基づく付加価値のある提案を行います。

(1) ヘルスチェック保守提案
長期間、使用された装置の潜在的な不具合を診断し予防保全をご提案

  • 装置状態監視システムによる装置コンディションの顕在化

ヘルスチェック

ヘルスチェック

(2) 生産中止部品の対応

  • 代替品開発・販売
  • 中古部品の販売(動作確認品)

(3) 長期間ご使用された装置を最新技術でリノベーション (一例)

  • 最新コントローラシリーズへの置き換え
  • 多品種少量生産に適したラージバッチ処理装置のミニバッチ化
  • 処理枚数アップによる生産性向上
  • 高速搬送移載機へのアップグレード

3. 中古装置

お客さまのご要望に応じた中古装置をご提供いたします。

(1)
当社協業パートナーと連携した最適中古装置を短納期でご提供
(2)
装置メーカ保証による安心・安全・安定
(3)
既設装置仕様に適合させたリファビッシュの実施
(4)
最適仕様を必要な時に低価格でご提供
(5)
当社協業パートナーと連携したターンキーソリューションのご提案

中古装置

サービスサポート に関するお問い合わせ

電子機械事業部

お電話・FAXでのお問い合わせは
TEL(03)6734-9470 FAX(03)5209-5943