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Hitachi

株式会社 日立国際電気

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

アプリケーション

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

  • LP CVD
  • 酸化
  • アニール (低温、高温)
  • 拡散

概要

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置のVERTEX(ベルテックス)シリーズは豊富な納入実績を誇るベストセラー装置です。
DRAMなどの大量生産ラインから、ロジック系デバイスの少量多品種ラインまで、お客様のニーズに最適な機種をお選びいただくことができ、 200mmウェーハ以外の150mmウェーハ以下も対応可能です。

特長

  • 150枚一括処理により高スループット実現
  • 高速昇降温ヒータによりサーマルバジェット低減
  • 雰囲気制御(オプション:真空L/L)でプロセス性能向上
  • ウインドウ方式のコントローラにより操作性向上
  • * VERTEXは株式会社日立国際電気の登録商標です。

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置 に関するお問い合わせ

電子機械事業部

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TEL(03)6734-9470 FAX(03)5209-5943