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2008年11月27日
株式会社日立国際電気

枚葉プラズマ窒化・酸化装置の高生産モデル「New MARORA」を受注開始

New MARORA 外観写真

  株式会社日立国際電気(本社 東京都千代田区、社長 長谷川邦夫、以下 当社)は、2009年1月より枚葉プラズマ窒化・酸化装置の高生産モデル「New MARORA(*1)」の受注を開始いたします。
  「New MARORA」は、当社の枚葉プラズマ窒化・酸化装置の従来機「MARORA」の更なる高効率な量産の実現に向けて、現行のプラットフォームを一新し、低CoO(*2) と高い生産性を実現した装置です。

背景

  半導体業界では、45ナノメートル(ナノは10億分の1メートル)プロセスのデバイス生産が本格化し、将来にわたり、微細化が進んでいくものと予想されます。デバイスメーカーは、このような微細化の進展に対して設備投資を継続的に行うものと予想され、半導体製造装置メーカーには、微細化に対応した性能とともに、高生産性を併せ持つ製造装置が求められています。
  微細化プロセス(45〜22ナノメートル)で、多くのデバイスメーカーに採用、評価をしていただいている当社枚葉プラズマ窒化・酸化装置のチャンバーと、フィールドで培った高い生産性と高信頼性を実現したプラットフォームを結合し、今回新たに微細化対応と高生産性を併せ持つ「New MARORA」を製品化しました。

特長

  1. 高スループット・・・従来モデルの最大2倍の生産性を実現
  2. MMT(*3)プラズマ源・・・基板表面におけるプラズマの高均一化とプラズマの低電子温度化(〜1eV)を実現
  3. 広範囲の温度制御可能・・・従来よりも大幅にウェーハ温度を昇温することができる高温ヒーターを搭載
  4. 豊富なアプリケーション・・・プラズマ酸化、プラズマ窒化に加えて、メタルを酸化せずにSiを選択的に酸化する「選択酸化」が可能
  5. 長期メンテナンスフリーと高い稼働率(98%以上)
  6. 環境対応・・・低消費電力、低公害設計を実現
*1
「MARORA」は株式会社日立国際電気の登録商標です。
*2
CoO:Cost of Ownership・・・ウェーハ1枚当たりの生産コスト
*3
MMT:Modified Magnetron Type 変形マグネトロン型プラズマ方式

お問い合わせ先

株式会社日立国際電気 電子機械事業部
〒101-8980 東京都千代田区外神田四丁目14-1
電話 03(6734)9470(ダイヤルイン)

以上


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