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株式会社 国際電気セミコンダクターサービス

ミクロソニック超音波洗浄機 単一周波発振方式

低周波超音波洗浄機

主な用途

  • 半導体の洗浄
  • フォトマスクの洗浄
  • ベアウェーハの最終洗浄
  • 半導体製造装置ジグ洗浄

高精度出力電力制御

出力設定範囲全域で高精度の出力電力フィードバック制御をおこないますので、半導体の微細化に伴う低出力時の安定性を飛躍的に高めました。 このことにより、半導体デバイスへのダメージをより低減することが可能となりました。

固定周波数

発振周波数が一定のため、石英槽の超音波透過率は常に一定です。

高効率・コンパクト設計

力率改善回路の採用により、当社従来機と比較して消費電力15%低減を達成しました。
当社従来機比容積率30% 質量30%の低減をして小型化しました。

UO1200PMCX シリーズ

UO1200PMCX シリーズ
型 式 UO1200PMCX
発振モード 単一周波
定格出力 1200 Watts
出力調整範囲 3 to 1200 Watts
周波数 730kHz 1MHz
遠隔制御
電源 単相 AC200V〜230V±10% 50/60Hz
消費電流 10A
外形寸法(mm) 360(W)×150(H)×480(D)
質量 14kg 以下
適合規格 CE・FCC ※1・Semi-F47

※1 FCC規格適合には、別売のノイズフィルター(FB001)が必要です

超音波洗浄機に関するお問合せ

お電話・FAXでのお問い合わせは
株式会社国際電気セミコンダクターサービス
担当部署:営業部
TEL:03-6734-9461 FAX:03-3502-2512