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半导体制造设备

可以说是计算机、移动多媒体终端的细胞的集成电路与时俱进地越来越小型化、高速化和高质量化。
日立国际电气以多年积累的经验技术为基础，在半导体制造的成膜领域，以世界顶级的技术按日新月异的步调支援集成度益发增高的半导体的高精度化。

批式处理设备

我公司批式热处理设备，结合了我公司独特的热处理技术，把批量式处理的优点发挥到最大限度，在实现了良好的制程性能的同时，大幅度的缩短了处理时间。

枚叶式处理设备

单片式等离子氮化、氧化设备“MARORA”和 单片式去光阻设备“TΛNDUO” 等我公司的单片式设备可对应最先端的存储器、逻辑产品的生产需求。

关联公司经营的产品

我公司集团公司经营电阻率测定器、支持150mm立式氧化、扩散／LPCVD设备、批式去光阻设备等。

服务支援

提供安装工程、中古设备(更新)、维修检查、搬迁、改装、大修等综合解决方案。

培训中心

培训中心提供技术培训，让您最有效地、高效地使用设备。

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