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Hitachi

Hitachi Kokusai Electric Inc.

单片式去光阻设备“TΛNDUO”

应用

单片式去光阻设备“TΛNDUO”

  • 抗蚀剂去光阻
    • Bulk Ashing
    • 高剂量抗蚀剂注入后的灰化
  • 低温退火

概述

TΛNDUO采用我公司独创的等离子体源“螺旋谐振器”,实现了无伤无损的等离子体处理和高速灰化。
与高速搬运系统组合,以出色的生产率和高运转率赢得了众多客户的高度评价。

特点

  • 新开发的搬运系统实现了高产出
  • 与λ系列相同,采用等离子体源“螺旋谐振器”,实现了无伤无损的高速灰化
  • 污染少
  • 节省占地面积
  • 充分利用高生产性,已作为高产出单片式退火设备展开