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Hitachi

Hitachi Kokusai Electric Inc.

支持200mm晶片的批式热处理设备

应用

支持200mm晶片的批式热处理设备

  • LP CVD
  • 氧化
  • 退火(低温、高温)
  • 扩散

概述

支持200mm晶片的批式热处理设备VERTEX系列是拥有丰富出货业绩的畅销设备。
从DRAM等大批量生产线到逻辑类设备的少量多品种生产线,可根据各户的需求选择最适合的机型,除200mm晶片外,也支持150mm以下的晶片。

特点

  • 一批同时处理150块,实现高产出
  • 利用高速升降温加热器、降低热预算
  • 通过气氛控制(选购件:真空L/L)提高处理性能
  • 窗口方式的控制提高操作性能