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Hitachi

Hitachi Kokusai Electric Inc.

批式热处理设备“QUIXACE”

应用

批式热处理设备“QUIXACE”

  • LP CVD
  • 氧化
  • 退火

概述

QUIXACE凝聚了我公司的温度控制技术、自动搬运技术、真空和气体置换技术、冷却技术、成膜技术等核心技术,飞跃性地缩短了周期时间,是实现了高产出的批式处理设备。

特点

  • 产品阵容有大批量设备(最大可一批处理125块)和小批量设备(最大可一批处理50块)
  • 实现了短循环时间的高产出
  • 通过气体清洁减少停机时间,提高运转率
  • 搭载高速升降温加热器、晶片高速搬运系统
  • 通过气氛控制(选购件:真空L/L、N2清洗)提高处理性能