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Hitachi

Hitachi Kokusai Electric Inc.

批式Epi-SiGe•Epi-Si设备

应用

批式Epi-SiGe•Epi-Si设备

  • Epi-Si
  • Epi-SiGe

概述

我公司的批式Epi-SiGe•Epi-Si设备以拥有众多出货业绩的预真空锁批式热处理设备为基础,高产出、低CoO(Cost of Ownership),以低温成膜实现了高品质结晶。
除用于半导体设备外,还可用于太阳电池等。

特点

  • 一批同时处理多块,实现高产出
  • 可进行低温高品质外延生长
  • 支持300mm晶片
  • 基于拥有众多出货业绩的预真空锁批式热处理设备,可靠性高